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RF 시리즈
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Match 시리즈 1000(G2/13)
RF Plasma

실시간 측정을 통한 스마트 매칭

TruPlasma Match 시리즈 1000(G2/13)의 새로운 매칭 네트워크는 TRUMPF의 RF 제너레이터를 이상적으로 보완합니다. 프로세스 모니터링을 위한 스마트 매칭 알고리즘과 디지털 제어 플랫폼을 통해 모든 컴포넌트가 최적의 상호 작용을 가능하게 합니다.

주요특징
  • 까다로운 공정에서도 빠르고 안정적이며 재현 가능한 50 Ohm 임피던스 매칭
  • 발진기와 Matchbox 간의 진보적인 소프트웨어와 향상된 통신
  • Matchbox의 모든 임피던스 변화에서 신속한 시스템 추적
  • 최적화된 공정 파라미터 모니터링 및 아크 조기 인식
  • 까다로운 공정에서도 빠르고 안정적이며 재현 가능한 50 Ohm 임피던스 매칭 발진기와 Matchbox 간의 진보적인 소프트웨어와 향상된 통신 Matchbox의 모든 임피던스 변화에서 신속한 시스템 추적 최적화된 공정 파라미터 모니터링 및 아크 조기 인식 사용자 친화 프로세스 컨트롤

 

제품사양

 ​​ ​ ​ 

 

 TruPlasma Match 시리즈 3000

 TruPlasma Match 시리즈 6000

 TruPlasma Match 시리즈 12000

 TruPlasma Match 시리즈 24000

 RF 아웃풋

 전력 출력

 3 kW

 6 kW

 12 kW

 24 kW

 정격 출력

 3 kW

 6 kW

 12 kW

 24 kW

 출력 주파수

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 (±10%) 23.5 V - 24.5 V

 (±10%) 23.5 V - 24.5 V

 (±10%) 87 V - 264 V

 (±10%) 87 V - 264 V

 전원 주파수

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz

 통신 인터페이스

 동기 인터페이스

 예

 예

 예

 예

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 예

 RS 232 / RS 485

 예

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 예

 예

 예

 예

 ETHERCAT

 예

 예

 예

 예

 DEVICENET

 아니오

 아니오

 아니오

 아니오

 하우징

 중량

 15 kg

 8 kg

 27 kg

 30 kg

 보호등급 IP

 21

 21

 21

 21

 냉각 요건

 최대 수압

 -

 -

 6 bar

 6 bar

 최소 차압

 -

 -

 1.5 bar

 1.5 bar

 최소 유량

 -

 -

 3.5 l/min

 5 l/min

 냉매 온도

 -

 -

 10 °C - 30 °C 1

 10 °C - 30 °C 1

 일반

 인증서 / 표준

 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47

 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47

 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47

 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47

 주변 조건

 외부온도

 10 °C - 35 °C

 10 °C - 35 °C

 10 °C - 35 °C

 10 °C - 35 °C

 공기습도

 20 % - 75 %

 20 % - 75 %

 20 % - 75 %

 20 % - 75 %

 기압계 압력

 800 kPa - 1013 kPa

 800 kPa - 1013 kPa

 800 kPa - 1013 kPa

 800 kPa - 1013 kPa
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