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RF 시리즈
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VHF 시리즈 3000
RF Plasma

모든 요구를 만족

TruPlasma VHF 시리즈 3000의 제너레이터는 최고의 전력 밀도를 가능하게 하고 가장 어려운 공정 요건을 만족시키는 혁신적인 플랫폼 계획에 기반하고 있습니다. 모듈식 및 수냉식 구조를 통해 전력 출력을 80 kW까지 확장할 수 있습니다. 그 뿐아니라 컴팩트한 VHF 제너레이터의 높은 경제성과 견고한 디자인은 이미 정평이 나있습니다.

주요특징
  • 정확하며 신속한 임의의 펄스 형성
  • 최소 램프 시간 150 ns
  • 스마트 Auto Frequency Tuning
  • 확실하고 정교한 공정 제어
  • 필요없는 RF케이블 길이 조정

 

제품사양

 ​​ ​ 

 

 Truplasma VHF 1000-2.5/60

 TruPlasma VHF 3000-5/40

 TruPlasma VHF 3000-10/40

 RF 아웃풋

 전력 출력

 2.5 kW

 5 kW

 10 kW

 정격 출력

 2.5 kW

 5 kW

 10 kW

 정격 부하 임피던스

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 출력 주파수

 60 MHz

 40.68 MHz

 40.68 MHz

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 200 - 480 V

 200 - 480 V

 200 - 480 V

 전원 주파수

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 정격 소비전력

 4 kVA

 9.3 kVA

 18.6 kVA

 출력 계수

 0.95

 0.95

 0.95

 통신 인터페이스

 동기 인터페이스

 예

 예

 예

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 RS 232 / RS 485

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 아니오

 아니오

 아니오

 ETHERCAT

 예

 예

 예

 DEVICENET

 예

 예

 예

 하우징

 중량

 23 kg

 32 kg

 53 kg

 보호등급 IP

 30

 30

 30

 냉각 요건

 최대 수압

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 최소 차압

 2 bar

 2 bar

 2 bar

 최소 유량

 8 l/min

 8 l/min

 10 l/min

 냉매 온도

 5 °C - 35 °C

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C

 일반

 총효율

 70%

 70%

 70%

 인증서 / 표준

 Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs

 Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs

 Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs

 주변 조건

 외부온도

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 공기습도

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 기압계 압력

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa
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