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RF 시리즈
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TruPlasma RF 3000 시리즈
RF Plasma

타협 없는 고주파 테크놀로지

고주파 발진기를 사용하여 안전책을 강구할 수 있습니다. TruPlasma RF 3000 시리즈는 견고한 구조와 고효율을 특징으로 합니다. 따라서 평면 디스플레이, 솔라셀 또는 반도체 제조 등에 사용되는 바와 같이 안정적이고 재현 가능한 플라즈마 프로세스에 가장 적합합니다. 이 발진기는 전세계에 설치된 수 천개의 어플리케이션에서 높은 생산성과 놀라운 공정 결과를 보증합니다.

주요특징
  • 최대 80 %의 에너지 효율로 인해 비용 최대 50 %까지 절감
  • 우수한 RF 아크 관리
  • CombineLine 테크놀로지: 미스매치 시 반사된 출력으로 부터 안전하게 보호
  • CW 출력 또는 펄스 전원 출력 선택가능

 

제품사양

 ​​ ​ 

 

 TruPlasma RF 3012

 TruPlasma RF 3020

 TruPlasma RF 3024

 RF 아웃풋

 전력 출력

 12 kW

 20 kW

 24 kW

 정격 출력

 12 kW

 20 kW

 24 kW

 정격 부하 임피던스

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 출력 주파수

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 400 - 480 V

 400 - 480 V

 400 - 480 V

 전원 주파수

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 정격 소비전력

 16.6 kVA

 28.1 kVA

 33.3 kVA

 출력 계수

 0.93

 0.93

 0.93

 통신 인터페이스

 동기 인터페이스

 예

 예

 예

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 RS 232 / RS 485

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 예

 예

 예

 ETHERCAT

 예

 예

 예

 DEVICENET

 예

 예

 예

 하우징

 중량

 57 kg

 117 kg

 117 kg

 보호등급 IP

 20

 20

 20

 냉각 요건

 최대 수압

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 최소 차압

 2 bar

 2 bar

 2 bar

 최소 유량

 10 l/min

 20 l/min

 20 l/min

 냉매 온도

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C 

 5 °C - 35 °C 1

 일반

 총효율

 78%

 75%

 75%

 인증서 / 표준

 SEMI F47,CE, RoHs

 SEMI F47,CE, RoHs

 SEMI F47,CE, RoHs

 주변 조건

 외부온도

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 공기습도

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 기압계 압력

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 

 

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