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RF 시리즈
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TruPlasma 1000 / 3000 (G2/13) 시리즈
RF Plasma

최고의 생산성을 위한 안정된 프로세스

표면 처리 또는 구조화 시 안정적이고 재현 가능한 플라즈마 전원 공급은 매우 중요합니다. 최신의 전력 시스템이 장착되어 있는 TruPlasma RF 1000 / 3000 시리즈(G2/13)의 고주파 발진기는 최적의 전제조건을 제공합니다. 안정적인 전력 출력과 높은 제어 정밀도 덕택에 높은 생산성을 가진 최고의 결과물을 보장합니다.

주요특징
  • CombineLine 테크놀로지: 50 Ohm 출력 임피던스 덕분에 최적의 공정 출력
  • 필요없는 RF케이블 길이 조정
  • CombineLine 테크놀로지: 미스매치 시 반사된 출력으로 부터 안전하게 보호
  • 최대 80 %의 에너지 효율로 인해 비용 최대 50 %까지 절감
  • 주변 공기의 가열 및 오염이 없어 클린룸 적용가능

 

제품사양

 ​​ 

 

 Air 시리즈

 1000시리즈

 3000 시리즈

 TruPlasma RF Air 1000

 TruPlasma RF 1000-2/13

 TruPlasma RF 1000-3/13

 TruPlasma RF 3012

 TruPlasma RF 3020

 TruPlasma RF 3024

 RF 아웃풋

 전력 출력

 1 kW

 2 kW

 3 kW

 12 kW

 20 kW

 24 kW

 정격 출력

 1 kW

 2 kW

 3 kW

 12 kW

 20 kW

 24 kW

 정격 부하 임피던스

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 50 Ω

 출력 주파수

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 13.56 MHz

 전원 전압

 190 - 240 V

 200 - 480 V

 200 - 480 V

 400 - 480 V

 400 - 480 V

 400 - 480 V

 전원 주파수

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 50-60 Hz

 정격 소비전력

 1.8 kVA

 3.1 kVA

 4.3 kVA

 16.6 kVA

 28.1 kVA

 33.3 kVA

 출력 계수

 0.9

 0.95

 0.95

 0.93

 0.93

 0.93

 통신 인터페이스

 동기 인터페이스

 예

 예

 예

 예

 예

 예

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 예

 예

 예

 RS 232/RS 485

 예

 예

 예

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 아니오

 예

 예

 예

 예

 예

 ETHERCAT

 예

 예

 예

 예

 예

 예

 DEVICENET

 예

 예

 예

 예

 예

 예

 하우징

 중량

 15 kg

 18 kg

 18 kg

 57 kg

 117 kg

 117 kg

 보호등급 IP

 20

 30

 30

 20

 20

 20

 냉각 요건

 최대 수압

 N/A bar

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 최소 차압

 N/A bar

 1.1 bar

 1.1 bar

 2 bar

 2 bar

 2 bar

 최소 유량

 N/A l/min

 4 l/min

 4 l/min

 10 l/min

 20 l/min

 20 l/min

 냉매 온도

 5 °C - 35 °C

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C 1

 5 °C - 35 °C 1

 일반

 총효율

 70%

 80%

 80%

 78%

 75%

 75%

 인증서 / 표준

 Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs

 Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs

 Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs

 SEMI F47,CE, RoHs

 SEMI F47,CE, RoHs

 SEMI F47,CE, RoHs

 주변 조건

 외부온도

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 공기습도

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 기압계 압력

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa

 79.5 kPa - 106 kPa
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