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MF 시리즈
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TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈
MF Plasma

동급 최강

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈를 통해 언제든지 프로세스를 제어할 수 있습니다. 우수한 Arc 관리 및 점화동작을 통해 제너레이터는 넓은 면적의 코팅과 듀얼 마그네트론 스퍼터링에서의 까다로운 반응 프로세스에 가장 적합합니다. 90 % 이상의 피크 효율 및 효율적인 냉각수 관리를 바탕으로 운영비용적인 측면에서도 매우 경제적입니다.

주요특징
  • 최고의 층 품질 및 생산성
  • 최대 효율 90 % 이상
  • 모든 기후 조건에서 안정적인 전원 공급
  • 전세계 어디에서든 사용 가능

 

 

 

제품사양

 ​​ ​ ​ ​​​

 

 TruPlasma MF 7050(G2)

 TruPlasma MF 7075(G2)

 TruPlasma MF 7100(G2)

 TruPlasma MF 7120(G2)

 TruPlasma MF 7150(G2)

 아웃풋

 정격 출력

 50 kW

 75 kW

 100 kW

 120 kW

 150 kW

 최대 출력전류

 110 A eff

 200 A eff

 225 A eff

 300 A eff

 350 A eff

 최대 출력전압

 1100 V eff

 1100 V eff

 1100 V eff

 1100 V eff

 1100 V eff

 정격 운전주파수

 20 kHz - 50 kHz

 20 kHz - 50 kHz

 20 kHz - 50 kHz

 20 kHz - 50 kHz

 20 kHz - 50 kHz

 아크 파라미터

 최대 아크율

 8000 1/s

 8000 1/s

 8000 1/s

 8000 1/s

 8000 1/s

 아크 에너지

 10 mJ/kW

 10 mJ/kW

 10 mJ/kW

 10 mJ/kW

 10 mJ/kW

 아크 처리시간

 50 µs

 50 µs

 50 µs

 50 µs

 50 µs

 점화전압

 점화보조장치 포함

 3100 V

 3100 V

 3100 V

 3100 V

 3100 V

 점화보조장치 비포함

 790 V

 790 V

 790 V

 790 V

 790 V

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 (±10%) 380 V - 480 V

 (±10%) 380 V - 480 V

 (±10%) 380 V - 480 V

 (±10%) 380 V - 480 V

 (±10%) 380 V - 480 V

 전원 주파수

 50/60 Hz

 50/60 Hz

 50/60 Hz

 50/60 Hz

 50/60 Hz

 정격 소비전력

 61 kVA

 93 kVA

 124 kVA

 149 kVA

 186 kVA

 출력 계수

 0.95

 0.95

 0.95

 0.95

 0.95

 하우징

 중량

 560 kg

 610 kg

 610 kg

 660 kg

 660 kg

 보호등급 IP

 54

 54

 54

 54

 54

 냉각 요건

 냉매

 워터

 워터

 워터

 워터

 워터

 최대 수압

 6 bar

 6 bar

 6 bar

 6 bar

 6 bar

 최소 차압

 2.2 bar

 2.2 bar

 2.2 bar

 2.5 bar

 2.5 bar

 최소 유량

 28 l/min

 30 l/min

 30 l/min

 34 l/min

 34 l/min

 냉매 온도

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 일반

 총효율

 91%

 91%

 91%

 91%

 91%

 인증서 / 표준

 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18

 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18

 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18

 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18

 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18

 주변 조건

 외부온도

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C

 5 °C - 40 °C