동급 최강
TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈를 통해 언제든지 프로세스를 제어할 수 있습니다. 우수한 Arc 관리 및 점화동작을 통해 제너레이터는 넓은 면적의 코팅과 듀얼 마그네트론 스퍼터링에서의 까다로운 반응 프로세스에 가장 적합합니다. 90 % 이상의 피크 효율 및 효율적인 냉각수 관리를 바탕으로 운영비용적인 측면에서도 매우 경제적입니다.
주요특징 |
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| TruPlasma MF 7050(G2) | TruPlasma MF 7075(G2) | TruPlasma MF 7100(G2) | TruPlasma MF 7120(G2) | TruPlasma MF 7150(G2) | |
아웃풋 | 정격 출력 | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW |
최대 출력전류 | 110 A eff | 200 A eff | 225 A eff | 300 A eff | 350 A eff | |
최대 출력전압 | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | |
정격 운전주파수 | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | |
아크 파라미터 | 최대 아크율 | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s |
아크 에너지 | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | |
아크 처리시간 | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | |
점화전압 | 점화보조장치 포함 | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V |
점화보조장치 비포함 | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | |
전원 연결 데이터 | 전원 전압 | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V |
전원 주파수 | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | |
정격 소비전력 | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA | |
출력 계수 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | |
하우징 | 중량 | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg |
보호등급 IP | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | |
냉각 요건 | 냉매 | 워터 | 워터 | 워터 | 워터 | 워터 |
최대 수압 | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | |
최소 차압 | 2.2 bar | 2.2 bar | 2.2 bar | 2.5 bar | 2.5 bar | |
최소 유량 | 28 l/min | 30 l/min | 30 l/min | 34 l/min | 34 l/min | |
냉매 온도 | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | |
일반 | 총효율 | 91% | 91% | 91% | 91% | 91% |
인증서 / 표준 | CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 | |
주변 조건 | 외부온도 | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |