고밀도 플라즈마를 통한 우수한 코팅결과
TruPlasma Highpulse 시리즈 4000(G2)의 제너레이터는 DC 스퍼터링 제너레이터에 대한 대안으로, 기존의 마그네트론 시스템에서도 별도의 변경 없이 사용할 수 있습니다. 특히 내부식성 및 내마모성 Hard Metal 코팅을 제공하며, 고출력 Pulse 마그네트론 스퍼터링 분야에서 최상의 선택입니다.
주요특징 |
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TruPlasma Highpulse Series 4000 (G2) |
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아웃풋 |
정격 출력 |
1 MW to 8 MW |
최대 출력전류 |
Up to 4 kA |
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최대 출력전압 |
Up to 2 kV |
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정격 운전주파수 |
Up to 40 kHz |
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아크 파라미터 |
최대 아크율 |
- |
아크 에너지 |
< 0.3 mJ / kW (Independent of cable length) |
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아크 처리시간 |
< 500 ns |
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점화전압 |
점화보조장치 포함 |
- |
점화보조장치 비포함 |
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전원 연결 데이터 |
전원 전압 |
3 x 400 V – 480 V ± 10 % |
전원 주파수 |
50 Hz / 60 Hz ± 5 % |
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통신 인터페이스 |
아날로그/디지털 |
USB type B |
RS 232 / RS 485 |
9-pin male Sub-D |
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PROFIBUS |
9-pin female Sub-D |
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ETHERCAT |
RJ45 |
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DEVICENET |
5-pin DeviceNet Connector |
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하우징 | 중량 | - |
보호등급 IP | ||
냉각 요건 | 냉매 | Water only (no air flow needed) |
최대 수압 | - | |
최소 차압 | ||
최소 유량 | ||
냉매 온도 | ||
DC 연결 데이터 | 단자의 수량 | - |
정격 전류/단자 | ||
일반 | 총효율 | - |
인증서/표준 | ||
주변 조건 |
외부온도 |
- |
공기습도 |
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기압계 압력 |