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DC Pulsed 시리즈
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TruPlasma High pulse 시리즈 4000 (G2)
DC Pulsed Plasma

고밀도 플라즈마를 통한 우수한 코팅결과

TruPlasma Highpulse 시리즈 4000(G2)의 제너레이터는 DC 스퍼터링 제너레이터에 대한 대안으로, 기존의 마그네트론 시스템에서도 별도의 변경 없이 사용할 수 있습니다. 특히 내부식성 및 내마모성 Hard Metal 코팅을 제공하며, 고출력 Pulse 마그네트론 스퍼터링 분야에서 최상의 선택입니다.

주요특징
  • 완벽한 코팅 결과
  • 유연한 사용 가능성
  • HiPIMS 어플리케이션을 위한 최상의 선택
  • DC 모드로도 사용 가능

 

제품사양

 ​​ ​ ​ ​​

 

 TruPlasma Highpulse Series 4000 (G2)

 아웃풋

 정격 출력

 1 MW to 8 MW

 최대 출력전류

 Up to 4 kA

 최대 출력전압

 Up to 2 kV

 정격 운전주파수

 Up to 40 kHz

 아크 파라미터

 최대 아크율

 -

 아크 에너지

 < 0.3 mJ / kW 

(Independent of cable length)

 아크 처리시간

 < 500 ns

 점화전압

 점화보조장치 포함

 -

 점화보조장치 비포함

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 3 x 400 V – 480 V ± 10 %

 전원 주파수

 50 Hz / 60 Hz ± 5 %

 통신 인터페이스

 아날로그/디지털

 USB type B

 RS 232 / RS 485

 9-pin male Sub-D

 PROFIBUS

 9-pin female Sub-D

 ETHERCAT

 RJ45

 DEVICENET

 5-pin DeviceNet Connector

 하우징

 중량

 -

 보호등급 IP

 냉각 요건

 냉매

 Water only (no air flow needed)

 최대 수압

 -

 최소 차압

 최소 유량

 냉매 온도

 DC 연결 데이터

 단자의 수량

 -

 정격 전류/단자

 일반

 총효율

 -

 인증서/표준 

 주변 조건

 외부온도

 -

 공기습도

 기압계 압력