우수한 표면을 위한 펄스 프로세스
TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2)는 특히 난가공재의 반응 스퍼터링을 위해 개발되었습니다. 펄스 직류로 작동하는 제너레이터는 특히 최고의 층 품질 및 생산성이 동시에 요구되는 주요 PVD, PECVD 프로세스에서 그 효과가 입증되었습니다. 콤팩트한 직류 프로세스 전류 공급은 바이어스 가동 모드로 설정될 수 있습니다.
주요특징 |
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TruPlasma DC 4010 (G2) |
TruPlasma DC 4020 (G2) |
TruPlasma DC 4040 (G2) |
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아웃풋 |
정격 출력 |
10 kW |
20 kW |
40 kW |
최대 출력전류 |
33 A eff |
67 A eff |
133 A eff |
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최대 출력전압 |
1200 V eff |
1200 V eff |
1200 V eff |
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정격 운전주파수 |
0 kHz - 100 kHz |
0 kHz - 100 kHz |
0 kHz - 100 kHz |
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아크 파라미터 |
최대 아크율 |
20000 1/s |
20000 1/s |
20000 1/s |
아크 에너지 |
<0.3 mJ/kW |
<0.3 mJ/kW |
<0.3 mJ/kW |
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아크 처리시간 |
<0.1 µs |
<0.1 µs |
<0.1 µs |
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점화전압 |
점화보조장치 포함 |
1750 V |
1750 V |
1750 V |
점화보조장치 비포함 |
1250 V |
1250 V |
1250 V |
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전원 연결 데이터 |
전원 전압 |
3x 360 V - 528 V |
3x 360 V - 528 V |
3x 360 V - 528 V |
전원 주파수 |
50 Hz - 60 Hz |
50 Hz - 60 Hz |
50 Hz - 60 Hz |
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통신 인터페이스 |
아날로그/디지털 |
예 |
예 |
예 |
RS 232 / RS 485 |
예 |
예 |
예 |
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PROFIBUS |
예 |
예 |
예 |
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ETHERCAT | 아니오 | 아니오 | 아니오 | |
DEVICENET | 예 | 예 | 예 | |
하우징 | 중량 | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
보호등급 IP | 40 | 40 | 40 | |
냉각 요건 | 냉매 | 워터 | 워터 | 워터 |
최대 수압 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | |
최소 차압 | 3 bar | 3 bar | 3 bar | |
최소 유량 | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min | |
냉매 온도 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | |
DC 연결 데이터 | 단자의 수량 | 3 | 3 | 3 |
정격 전류/단자 | 25 A | 45 A | 85 A | |
일반 | 총효율 | 90% | 90% | 90% |
인증서/표준 |
CE |
CE |
CE |
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주변 조건 |
외부온도 |
5 °C - 45 °C |
5 °C - 45 °C |
5 °C - 45 °C |
공기습도 |
5 % - 85 % |
5 % - 85 % |
5 % - 85 % |
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기압계 압력 |
86 kPa - 106 kPa |
86 kPa - 106 kPa |
86 kPa - 106 kPa |