SAB사업그룹

  • SAB사업그룹
  • Plasma Source 솔루션
  • DC Pulsed 시리즈
DC Pulsed 시리즈
TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2)
DC Pulsed Plasma

우수한 표면을 위한 펄스 프로세스

TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2)는 특히 난가공재의 반응 스퍼터링을 위해 개발되었습니다. 펄스 직류로 작동하는 제너레이터는 특히 최고의 층 품질 및 생산성이 동시에 요구되는 주요 PVD, PECVD 프로세스에서 그 효과가 입증되었습니다. 콤팩트한 직류 프로세스 전류 공급은 바이어스 가동 모드로 설정될 수 있습니다.

주요특징
  • 높은 층 품질 및 생산성
  • 신속한 아크 처리
  • 단순한 프로세스 매칭
  • 콤팩트하고 견고한 구조

 

제품사양

 ​​ ​ ​ ​​

 

  TruPlasma DC 4010 (G2)

 TruPlasma DC 4020 (G2)

 TruPlasma DC 4040 (G2)

 아웃풋

 정격 출력 

 10 kW

 20 kW

 40 kW

 최대 출력전류

 33 A eff

 67 A eff

 133 A eff

 최대 출력전압

 1200 V eff

 1200 V eff

 1200 V eff

 정격 운전주파수

 0 kHz - 100 kHz

 0 kHz - 100 kHz

 0 kHz - 100 kHz

 아크 파라미터

 최대 아크율

 20000 1/s

 20000 1/s

 20000 1/s

 아크 에너지

 <0.3 mJ/kW

 <0.3 mJ/kW

 <0.3 mJ/kW

 아크 처리시간

 <0.1 µs

 <0.1 µs

 <0.1 µs

 점화전압

 점화보조장치 포함

 1750 V

 1750 V

 1750 V

 점화보조장치 비포함

 1250 V

 1250 V

 1250 V

 전원 연결 데이터

 전원 전압

 3x 360 V - 528 V

 3x 360 V - 528 V

 3x 360 V - 528 V

 전원 주파수

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 통신 인터페이스

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 RS 232 / RS 485

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 예

 예

 예

 ETHERCAT

 아니오

 아니오

 아니오

 DEVICENET

 예

 예

 예

 하우징

 중량

 65 kg

 75 kg

 150 kg

 보호등급 IP

 40

 40

 40

 냉각 요건

 냉매

 워터

 워터

 워터

 최대 수압

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 최소 차압

 3 bar

 3 bar

 3 bar

 최소 유량

 8 l/min

 8 l/min

 16 l/min

 냉매 온도

 20 °C - 35 °C

 20 °C - 35 °C

 20 °C - 35 °C

 DC 연결 데이터

 단자의 수량

 3

 3

 3

 정격 전류/단자

 25 A

 45 A

 85 A

 일반

 총효율

 90%

 90%

 90%

 인증서/표준

 CE

 CE

 CE

 주변 조건

 외부온도

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 공기습도

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 기압계 압력

 86 kPa - 106 kPa

 86 kPa - 106 kPa

 86 kPa - 106 kPa