SAB사업그룹

  • SAB사업그룹
  • Plasma Source 솔루션
  • DC 시리즈

SAB사업그룹

DC 시리즈
New
TruPlasma 직류 시리즈
DC Plasma

콤팩트한 차세대 DC 제너레이터

TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2)는 펄스 전원 공급장치의 공정과 같은 다양한 DC 스퍼터링 프로세스에 적합합니다. 보다 나은 Arc 관리를 통해 최상의 레이어 품질과 상당히 높은 생산수율을 보증합니다. 수냉식 DC 제너레이터는 매우 콤팩트 하여 기존의 공정에 쉽게 적용할 수 있습니다.

주요특징
  • 0.3 mJ/kW 이하의 잔류 에너지를 통해 최상의 막 품질 및 높은 증착율 보장
  • 매우 컴팩트한 구조(19 인치 트레이), 이로 인해 더 높은 성능을 간편하게 통합
  • 20 kW - 300 kW의 전력 출력, 이를 통해 더 큰 발진기 대체
  • 수냉식 냉각 시스템
  • 가변 전원 전압(400 V - 180 V) 및 다양한 데이터 인터페이스

 

 

제품사양

 ​​ ​ ​ ​ 

 

 

 TruPlasma DC 3020 (G2)

 TruPlasma DC 3030 (G2)

 TruPlasma DC 3040 (G2)

 TruPlasma DC 3060 (G2)

 아웃풋

 

 

 정격 출력

 20 kW

 30 kW

 40 kW

 60 W

 최대 출력전류

 50 A eff

 75 A eff

 100 A eff

 150 A eff

 최대 출력전압

 1000 V eff

 1000 V eff

 1000 V eff

 1000 V eff

 아크 파라미터

 

 

 최대 아크율

 8000 1/s

 8000 1/s

 8000 1/s

 8000 1/s

 아크 에너지

 <0.3 mJ/kW

 <0.3 mJ/kW

 <0.3 mJ/kW

 <0.3 mJ/kW

 아크 처리시간

 <0.1 µs

 <0.1 µs

 <0.1 µs

 <0.1 µs

 점화전압

 

 점화보조장치 포함

 1500 V

 1500 V

 1500 V

 1500 V

 점화보조장치 비포함

 1000 V

 1000 V

 1000 V

 1000 V

 전원 연결 데이터

 

 전원 전압

 (±10%) 360 V - 528 V

 3x 360 V - 528 V

 3x 360 V - 528 V

 3x 360 V - 528 V

 전원 주파수

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 50 Hz - 60 Hz

 통신 인터페이스

 

 

 

 

 아날로그/디지털

 예

 예

 예

 -

 RS 232/RS 485

 예

 예

 예

 PROFIBUS

 예

 예

 예

 ETHERCAT

 예

 예

 예

 DEVICENET

 예

 예

 예

 하우징

 

 중량

 45 kg

 65 kg

 65 kg

 -

 보호등급 IP

 40

 40

 40

 냉각 요건

 

 

 

 

 냉매

 워터

 워터

 워터

 -

 최대 수압

 7 bar

 7 bar

 7 bar

 최소 차압

 1.5 bar

 1.5 bar

 1.5 bar

 최소 유량

 4 l/min

 8 l/min

 8 l/min

 냉매 온도

 20 °C - 35 °C

 20 °C - 35 °C

 20 °C - 35 °C

 DC 연결 데이터

 

 단자의 수량

 3

 3

 3

 -

 정격 전류/단자

 35 A

 53 A

 53 A

 일반

 

 총효율

 90%

 90%

 90%

 -

 인증서/표준

 CE

 CE

 CE

 주변 조건

 

 

 외부온도

 5 °C

 5 °C - 45 °C

 5 °C - 45 °C

 -

 공기습도

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 5 % - 85 %

 기압계 압력

 860 kPa - 1060 kPa

 860 kPa - 1060 kPa

 860 kPa - 1060 kPa
제품 리스트 보기