실시간 측정을 통한 스마트 매칭
TruPlasma Match 시리즈 1000(G2/13)의 새로운 매칭 네트워크는 TRUMPF의 RF 제너레이터를 이상적으로 보완합니다. 프로세스 모니터링을 위한 스마트 매칭 알고리즘과 디지털 제어 플랫폼을 통해 모든 컴포넌트가 최적의 상호 작용을 가능하게 합니다.
주요특징 |
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TruPlasma Match 시리즈 3000 |
TruPlasma Match 시리즈 6000 |
TruPlasma Match 시리즈 12000 |
TruPlasma Match 시리즈 24000 |
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RF 아웃풋 |
전력 출력 |
3 kW |
6 kW |
12 kW |
24 kW |
정격 출력 |
3 kW |
6 kW |
12 kW |
24 kW |
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출력 주파수 |
13.56 MHz |
13.56 MHz |
13.56 MHz |
13.56 MHz |
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전원 연결 데이터 |
전원 전압 |
(±10%) 23.5 V - 24.5 V |
(±10%) 23.5 V - 24.5 V |
(±10%) 87 V - 264 V |
(±10%) 87 V - 264 V |
전원 주파수 |
50 Hz - 60 Hz |
50 Hz - 60 Hz |
50 Hz - 60 Hz |
50 Hz |
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통신 인터페이스 |
동기 인터페이스 |
예 |
예 |
예 |
예 |
아날로그/디지털 |
예 |
예 |
예 |
예 |
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RS 232 / RS 485 |
예 |
예 |
예 |
예 |
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PROFIBUS |
예 |
예 |
예 |
예 |
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ETHERCAT |
예 |
예 |
예 |
예 |
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DEVICENET |
아니오 |
아니오 |
아니오 |
아니오 |
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하우징 |
중량 |
15 kg |
8 kg |
27 kg |
30 kg |
보호등급 IP |
21 |
21 |
21 |
21 |
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냉각 요건 |
최대 수압 |
- |
- |
6 bar |
6 bar |
최소 차압 |
- |
- |
1.5 bar |
1.5 bar |
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최소 유량 |
- |
- |
3.5 l/min |
5 l/min |
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냉매 온도 |
- |
- |
10 °C - 30 °C 1 |
10 °C - 30 °C 1 |
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일반 |
인증서 / 표준 |
CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
주변 조건 |
외부온도 |
10 °C - 35 °C |
10 °C - 35 °C |
10 °C - 35 °C |
10 °C - 35 °C |
공기습도 | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | |
기압계 압력 | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa |