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전자부품
MEMS Foundry
미세전자제어시스템

양산 제품에 적용하는 세계 유일의 PZT-MEMS Foundry 입니다.

주요특징
  • 표준두께 3umt, 비유전율 900, 압전성수 200pm/V, 막 응력 30Mpa 등 우수한 막 특성
  • 막 성형부터 Device 가공까지 일관된 제공 가능
  • Device 가공의 경우 난이도가 높은 Membrane 및 다단 가공 가능