광간섭법(Optical interferometry) 기법을 사용한 비접촉 유리 두께 측정기입니다. 유리 뿐만 아니라 투명한 물체의 두께를 측정할 수 있습니다. 144.5mm(W) x 90mm(D) x 37mm(H)의 크기로 작지만 놀라운 성능을 발휘합니다.
주요특징 |
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규격
1. Resolution (Z): 10nm
2. Accuracy (Z): ±0.2% in full scale
3. Standoff distance: up to 150mm from objective
4. Measurement range (Z): 0.03mm ~ 1.2mm
5. Measurement speed: 100Hz
6. Laser source: 840nm SLD (SLD controller included)
7. Grating: 1,200 lpmm transmission grating(spectral range / grating rotation: 810~910nm)
Application
1. Semiconductor: Wafer, Si for PV panel
2. Flat Panel Display: TFT-LCD, AM-OLED, Diamond-like carbon, High-functional file
3. Films and Polymers: Optical film, Medical polymer materials