Tabletop Scanning Electron microscope
5nm 의 분해능으로 250,000 배까지 관측 가능합니다. 독립된 sample chamber 로 인해 vacuum 해제 시간이 크게 단축되어 sample 준비 시간이 대폭 감소하였습니다. 다양한 기능이 업그레이드된 software Nano eye로 더욱 빠르고 간편하게 측정 가능한 최신형 모델의 탁상형 주사현미경입니다.
주요특징 |
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1. 최고 성능의 탁상형 주사현미경
1) 분해능 : 5nm
2) 배율 : 250,000X
3) Multi Detector: SE/BSE
4) 5축 전자동 시편 거치대 (X, Y, Z, Rotate, Tilt / 5um 분해능
5) Vacuum 해제 시간 : 90 초 미만
6) Auto gun align, auto focus, 대면적 scan, 3D 렌더링 기본 장착
2. 획기적으로 개선된 software 3 세대 Nano eye
1) 기존 software 대비 60% 더 빠른 관측
2) 더욱 큰 화면 , 사용자 친화적 인터페이스
3) Auto gun align 추가 , auto focus 개선
4) 대면적 scan, 3D 렌더링 기본 장착
3. Option
1) EDS: Bruker, EDAX, Oxford
2) Ion Sputter Coater
3) Cooling Stage
Motorized 5 axis stage
약 5um 정밀도의 5축(X, Y, Z, Round, Tilt)을 자동화하여 보다 빠르고 정확하게 sample 위치를 찾을 수 있습니다. |
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보다 빠른 sample 준비 시간 | |
Compact design 기존 SNE series와 비교할 때 약 40% 정도의 설치 공간을 최소화하였습니다. |
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NEW 3세대 Software Nano-eye • 새롭게 Auto gun align 기능 추가 • 기존 Auto focus 기능 개선 • 새롭게 적용된 신규 UI • 더 큰 화면과 사용자 친화적 인터페이스 획기적으로 개선된 인터페이스와 추가/개선된 기능으로 보다 빠르고 손쉽게 원하는 이미지를 촬영할 수 있습니다. 기존 software 대비 60% 더 빠릅니다. |
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기본 장착된 대면적 scan과 3D 렌더링 대면적 scan 기능으로 대형 표본을 이미지화하고 분석할 수 있습니다. 원하는 배율에서 넓은 영역 분석과 고해상도 분석을 모두 수행할 수 있습니다 . |
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3D 렌더링 기능은 시료 표면의 입체적인 roughness를 쉽고 간편하게 확인할 수 있습니다. |
Electron System |
Resolution |
5nm (30kV, SE) |
Magnification |
x30 ~ 250,000 |
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Accelerating Voltage |
1 / 5 / 10 / 15 / 20 / 30 kV (6 step) |
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Detector |
Standard: Secondary Electron (SE) Optional: Back Scattered Electron (BSE) |
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Electron Gun |
Pre-centered Tungsten filament cartridge |
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Stage System |
Stage Traverse |
X, Y: 40mm / R: 360 ° / Z: 0~40mm / Tilt: 45 °~ 90 ° |
Max. Sample Size |
Up to 80mm (Diameter), up to 40mm (Height) |
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Image System |
Automation Function |
Auto Start, Auto Focus |
Image Format |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
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Vacuum System |
Vacuum Mode |
High / Low (BSE mode) |
Vacuum Pump |
Rotary Pump + Turbo Molecular Pump |
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Dimensions |
Main Unit |
300 (W) x 460 (D) x 600 (H) mm (78kg) |
Controller Unit |
256 (W) x 220 (D) x 90 (H) mm (4kg) |
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Rotary Pump |
400 (W) x 160 (D) x 340 (H) mm (24kg) |
EDS System |
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Ion Sputter Coater |
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Cooling Stage | |