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탁상형 주사현미경
SNE Alpha

Tabletop Scanning Electron microscope

5nm 의 분해능으로 250,000 배까지 관측 가능합니다. 독립된 sample chamber 로 인해 vacuum 해제 시간이 크게 단축되어 sample 준비 시간이 대폭 감소하였습니다. 다양한 기능이 업그레이드된 software Nano eye로 더욱 빠르고 간편하게 측정 가능한 최신형 모델의 탁상형 주사현미경입니다.

주요특징
  • 최고 성능의 탁상형 주사현미경
  • 획기적으로 개선된 software 3 세대 Nano eye
  • Option

 

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주요 특징

 

1. 최고 성능의 탁상형 주사현미경

1) 분해능 : 5nm

2) 배율 : 250,000X

3) Multi Detector: SE/BSE

4) 5축 전자동 시편 거치대 (X, Y, Z, Rotate, Tilt / 5um 분해능

5) Vacuum 해제 시간 : 90 초 미만

6) Auto gun align, auto focus, 대면적 scan, 3D 렌더링 기본 장착

 

2. 획기적으로 개선된 software 3 세대 Nano eye

1) 기존 software 대비 60% 더 빠른 관측

2) 더욱 큰 화면 , 사용자 친화적 인터페이스

3) Auto gun align 추가 , auto focus 개선

4) 대면적 scan, 3D 렌더링 기본 장착

 

3. Option

1) EDS: Bruker, EDAX, Oxford

2) Ion Sputter Coater

3) Cooling Stage

 

 

 

최고 성능의 탁상형 주사현미경

 

 

 

 Motorized 5 axis stage

 

 약 5um 정밀도의 5축(X, Y, Z, Round, Tilt)을 자동화하여 

 보다 빠르고 정확하게 sample 위치를 찾을 수 있습니다.

  

  

 


 보다 빠른 sample 준비 시간 


 
 

 

 

 

 

 Compact design 


 기존 SNE series와 비교할 때 약 40% 정도의 설치 공간을 최소화하였습니다.

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 NEW 3세대 Software Nano-eye 


• 새롭게 Auto gun align 기능 추가

• 기존 Auto focus 기능 개선

• 새롭게 적용된 신규 UI

• 더 큰 화면과 사용자 친화적 인터페이스


 획기적으로 개선된 인터페이스와 추가/개선된 기능으로 

 보다 빠르고 손쉽게 원하는 이미지를 촬영할 수 있습니다.

 기존 software 대비 60% 더 빠릅니다.

  

 

 

 기본 장착된 대면적 scan과 3D 렌더링


 대면적 scan 기능으로 대형 표본을 이미지화하고 분석할 수 있습니다.

 원하는 배율에서 넓은 영역 분석과 고해상도 분석을 모두 수행할 수 있습니다 .

  

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 3D 렌더링 기능은 시료 표면의 입체적인 roughness를 쉽고 간편하게 확인할 수 있습니다.

 

 

 

 

Specifications

 

 

 Electron System

 Resolution

 5nm (30kV, SE)

 Magnification

 x30 ~ 250,000

 Accelerating Voltage

 1 / 5 / 10 / 15 / 20 / 30 kV (6 step)

 Detector

 Standard: Secondary Electron (SE)

 Optional: Back Scattered Electron (BSE)

 Electron Gun

 Pre-centered Tungsten filament cartridge

 Stage System

 Stage Traverse

 X, Y: 40mm / R: 360 ° / Z: 0~40mm / Tilt: 45 °~ 90 °

 Max. Sample Size

 Up to 80mm (Diameter), up to 40mm (Height)

 Image System

 Automation Function

 Auto Start, Auto Focus

 Image Format

 BMP, JPEG, PNG, TIFF

 Vacuum System

 Vacuum Mode

 High / Low (BSE mode)

 Vacuum Pump

 Rotary Pump + Turbo Molecular Pump

 Dimensions

 Main Unit

 300 (W) x 460 (D) x 600 (H) mm (78kg)

 Controller Unit

 256 (W) x 220 (D) x 90 (H) mm (4kg)

 Rotary Pump

 400 (W) x 160 (D) x 340 (H) mm (24kg)

 

 

 

 

 

Optional Accessories

 

 EDS System

  

  

 

 Ion Sputter Coater

  

 Cooling Stage