액체제어솔루션

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플라즈마
플라즈마 인디케이터
Wafer Type

주요특징
  • 고내열성 (400℃)
  • 청정성 Base 사용으로 진공공정에 사용 가능

제품사양
대응 GasO2, Ar, H2, CF4, CI, SF6 등
구조
검출부: 무기제재, 레진
Base : 실리콘, 사파이어
구성4인치, 6인치
포장플라스틱 케이스, 1장 알루미늄 방습 포장