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플라즈마
박막 코팅형
IHP Series

박막 코팅형 플라즈마 IHP series

IHP 1000/2000

주요특징
  • 대기압에서 탁월한 소수성 표면 처리
  • Hydrophobic Nano Coating
  • 응용분야 : R&D 기능성 코팅, Micro/Nano Imprinting, Bio MEMS, Optical Device

제품사양
품명IHP-1000
ElectricityAC 200V, 50/60Hz
RF Power300W
사용 주파수13.56MHz
Carrier GasHe
Reaction GasO2, N2, Fluorocarbon
외부온도0-50℃
습도0-90%
냉각방식공랭식
처리 폭(Stroke)200mm(X)*350mm(Y)
처리속도100mm/s
Machine TypeBall Screw
Drive MethodDC Servo & Stepping
User Interface12" Touch Screen
ControlPC
사이즈1000(L)*815(W)*1350(H)
중량150kg