액체제어솔루션

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박막 코팅형
IDP Series

박막 코팅형 플라즈마 IDP series

IDP 1000/2000

주요특징
  • 대기압에서 처리가스에 의해 나노코팅
  • PMMA, SiO2, Acryl Acid 등 코팅
  • 응용분야 : R&D 박막, Bio/Medical, E-paper, Flexible Display, 신물질 개발

제품사양
품명IDP-1000
ElectricityAC 200V, 50/60Hz
RF Power300W
사용 주파수13.56MHz
Carrier GasHe
Reaction GasO2, N2, Ar Bubbler
Deposition Gas
외부온도0-50℃
습도0-90%
냉각방식공랭식
처리 폭(Stroke)700mm(X)
처리속도100mm/s
Machine TypeBall Screw
Drive MethodDC Servo & Stepping
User Interface12" Touch Screen
ControlPC
사이즈1000(L)*900(W)*1350(H)
중량200kg